Přístupnostní navigace
E-application
Search Search Close
Product detail
VOBORNÝ, S. HORKÝ, M. ŠIKOLA, T.
Product type
funkční vzorek
Abstract
Iontový zdroj je zařízení pro tvorbu fokusovaného iontového svazku používaného při analýzách, čištění nebo depozicích tenkých vrstev. Navržený zdroj je založen na komerční výbojové komoře firmy Colutron Research Corporation (nyní Beam Imaging Solutions), ke které byly navrženy a realizovány podpůrné systémy (nosný, chladící, elektrický, extrakční a fokusační).
Keywords
Iontový zdroj; iontový svazek; výbojová komora; depozice tenkých vrstev; čištění tenkých vrstev; analýza tenkých vrstev.
Create date
22. 11. 2013
Location
A2/518
Possibilities of use
K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee
Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
www
http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2013-08/