Přístupnostní navigace
E-application
Search Search Close
Publication detail
GLAJC, P. ZLÁMAL, J. MACH, J. KOLÍBAL, M. ŠIKOLA, T.
Original Title
Návrh iontového zdroje se sedlovým polem a žhavenou katodou
English Title
Design of an ion beam source with saddle field and thermionic cathode
Type
journal article - other
Language
Czech
Original Abstract
Článek se zabývá vývojem nového typu iontového zdroje a testováním jeho parametrů. Jedná se o iontový zdroj se sedlovým polem, který je určen primárně pro odprašování vzorků ionty N2+ či Ar+. Hlavním rozdílem vytvořeného zdroje oproti klasickým iontovým zdrojům se sedlovým polem je použití žhavené wolframové katody, což vede ke zvýšení elektronového proudu v ionizační oblasti. V článku je popsán simulační model vytvořený v programu Electron Optical Design, pomocí něhož je také určena teoretická účinnost iontového zdroje. Dále je popsán konstrukční návrh a nejdůležitější prvky zdroje. Článek se také věnuje testování a optimalizaci prototypu iontového zdroje, zejména pak měření velikosti vystupujícího iontového proudu.
English abstract
This paper deals with development of a new type of ion source and with testing of its parameters. The ion source is a saddle-field type and is designed primary for sputtering of solid targets by N2+ or Ar+ ions.
Keywords
Iontový zdroj; Sedlové pole; Žhavená katoda; Odprašování; EOD
Key words in English
Ion source; Saddle field; Heated cathode; Sputtering; EOD
Authors
GLAJC, P.; ZLÁMAL, J.; MACH, J.; KOLÍBAL, M.; ŠIKOLA, T.
RIV year
2014
Released
1. 7. 2014
ISBN
0447-6441
Periodical
Jemná mechanika a optika
Year of study
59
Number
6-7
State
Czech Republic
Pages from
181
Pages to
183
Pages count
3
BibTex
@article{BUT108676, author="Petr {Glajc} and Jakub {Zlámal} and Jindřich {Mach} and Miroslav {Kolíbal} and Tomáš {Šikola}", title="Návrh iontového zdroje se sedlovým polem a žhavenou katodou", journal="Jemná mechanika a optika", year="2014", volume="59", number="6-7", pages="181--183", issn="0447-6441" }