Publication detail

Návrh iontového zdroje se sedlovým polem a žhavenou katodou

GLAJC, P. ZLÁMAL, J. MACH, J. KOLÍBAL, M. ŠIKOLA, T.

Original Title

Návrh iontového zdroje se sedlovým polem a žhavenou katodou

English Title

Design of an ion beam source with saddle field and thermionic cathode

Type

journal article - other

Language

Czech

Original Abstract

Článek se zabývá vývojem nového typu iontového zdroje a testováním jeho parametrů. Jedná se o iontový zdroj se sedlovým polem, který je určen primárně pro odprašování vzorků ionty N2+ či Ar+. Hlavním rozdílem vytvořeného zdroje oproti klasickým iontovým zdrojům se sedlovým polem je použití žhavené wolframové katody, což vede ke zvýšení elektronového proudu v ionizační oblasti. V článku je popsán simulační model vytvořený v programu Electron Optical Design, pomocí něhož je také určena teoretická účinnost iontového zdroje. Dále je popsán konstrukční návrh a nejdůležitější prvky zdroje. Článek se také věnuje testování a optimalizaci prototypu iontového zdroje, zejména pak měření velikosti vystupujícího iontového proudu.

English abstract

This paper deals with development of a new type of ion source and with testing of its parameters. The ion source is a saddle-field type and is designed primary for sputtering of solid targets by N2+ or Ar+ ions.

Keywords

Iontový zdroj; Sedlové pole; Žhavená katoda; Odprašování; EOD

Key words in English

Ion source; Saddle field; Heated cathode; Sputtering; EOD

Authors

GLAJC, P.; ZLÁMAL, J.; MACH, J.; KOLÍBAL, M.; ŠIKOLA, T.

RIV year

2014

Released

1. 7. 2014

ISBN

0447-6441

Periodical

Jemná mechanika a optika

Year of study

59

Number

6-7

State

Czech Republic

Pages from

181

Pages to

183

Pages count

3

BibTex

@article{BUT108676,
  author="Petr {Glajc} and Jakub {Zlámal} and Jindřich {Mach} and Miroslav {Kolíbal} and Tomáš {Šikola}",
  title="Návrh iontového zdroje se sedlovým polem a žhavenou katodou",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2014",
  volume="59",
  number="6-7",
  pages="181--183",
  issn="0447-6441"
}