Přístupnostní navigace
E-application
Search Search Close
Product detail
BURŠÍK, M. ŘEZNÍČEK, M. JANKOVSKÝ, J.
Product type
funkční vzorek
Abstract
Jedná se o vysoce přesný fixační stolek pro tisk s rozlišením pod 100 um, kdy rovinnost uložení substrátu musí dosahovat chyby pod 10 um. Tento stolek umožňuje vakuovou aretaci vzorku a jeho polohování je zajištěno pomocí 3 dorazových excentrů.
Keywords
přesnost, rovinnost, vakuum, tisk
Create date
14. 2. 2014
Location
Technická 3058/10, Laboratoř 0.63
Possibilities of use
K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee
Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek