Product detail

Stick-slip piezoelektrický motor

PAVERA, M. NOVÁČEK, Z. WERTHEIMER, P. ŠULC, D. ŠIKOLA, T.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Stick-slip piezomotor je speciálně navržen pro hrubé přiblížení sondy k vzorku v rastrovacím sondovém mikroskopu dříve vyvinutém na ÚFI. Pohyb zajišťuje série střižných piezoelementů, které jsou buzeny speciálně tvarovaným napěťovým pulzem. Princip spočívá ve využití rozdílných koeficientů tření na styčných plochách pohyblivé a statické části motoru (tzv. princip stick-slip). Přesnost pohybu vymezuje kluzné lineární vedení. Motor je určen pro provoz v ultravakuu, vedení nevyžaduja maziva a pro výrobu byly použity vakuově kompatibilní materiály. Jeho velikost je 46 mm x 30 mm x 11 mm a umožňuje pohyb o 10 mm.

Keywords

piezomotor; piezoelement; stick-slip; motor; velmi vysoké vakuum; SPM

Create date

4. 11. 2015

Location

A2/518

Possibilities of use

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licence fee

Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

www