Publication detail

Zobrazovací spektroskopický reflektometr založený na membránovém děliči.

VODÁK, J. OHLÍDAL, M.

Original Title

Zobrazovací spektroskopický reflektometr založený na membránovém děliči.

English Title

Membrane beamsplitter based Imaging Spectroscopic Reflectometer

Type

journal article - other

Language

Czech

Original Abstract

Na ústavu Fyzikálního inženýrství FSI VUT v Brně byla vyvinuta nová varianta zobrazovacího spektroskopického reflektometru pro optickou charakterizaci tenkých vrstev neuniformních v optických parametrech. Přístroj vznikl za účelem rozšíření metody zobrazovací spektroskopické reflektometrie pro vzorky tenkých vrstev s velkými gradienty zmíněných neuniformit. Tohoto cíle bylo dosaženo vyšším obrazovým rozlišením nového přístroje. Při jeho návrhu bylo s výhodou využito membránového děliče, který však omezil spektrální rozsah použitého světla pouze na viditelnou a blízkou infračervenou oblast. Nový přístroj doplňuje již dlouhodobě funkční zobrazovací spektroskopický reflektometr pracující také v ultrafialové spektrální oblasti . Oba přístroje umožňují aplikaci zobrazovací spektroskopické reflektometrie na širokou množinu vzorků neuniformních tenkých vrstev

English abstract

A new version of an imaging spectroscopic reflectometer has been developed at the Institute of Physical Engineering, Faculty of Mechanical Engineering, Brno University of Technology. The device has been developed for measurements of thin film samples with high gradients of non-uniformity in their optical parameters. This device uses a membrane beamsplitter (typically called Pellicle beamsplitter) as a basic optical element. The new beamsplitter limits the usage of the device only for measurements in VIS and near IR range of light spectra. The new device is complementary to an older one which works also in UV spectral region, but with a lower sample resolution. Both devices together allow application of imaging spectroscopic reflectometry for a wide range of samples of non-uniform thin films.

Keywords

zobrazovací spektroskopická reflektometrie; membránový dělič; rozlišení obrazu

Key words in English

Imaging spectroscopic reflectometry; membrane beamsplitter; Pellicle beamsplitter; image resolution

Authors

VODÁK, J.; OHLÍDAL, M.

Released

1. 7. 2016

Publisher

Fyzikální ústav Akademie věd České republiky

ISBN

0447-6441

Periodical

Jemná mechanika a optika

Year of study

61

Number

6

State

Czech Republic

Pages from

144

Pages to

148

Pages count

5

BibTex

@article{BUT127118,
  author="Jiří {Vodák} and Miloslav {Ohlídal}",
  title="Zobrazovací spektroskopický reflektometr založený na membránovém děliči.",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2016",
  volume="61",
  number="6",
  pages="144--148",
  issn="0447-6441"
}