Přístupnostní navigace
E-application
Search Search Close
Publication detail
VODÁK, J. OHLÍDAL, M.
Original Title
Zobrazovací spektroskopický reflektometr založený na membránovém děliči.
English Title
Membrane beamsplitter based Imaging Spectroscopic Reflectometer
Type
journal article - other
Language
Czech
Original Abstract
Na ústavu Fyzikálního inženýrství FSI VUT v Brně byla vyvinuta nová varianta zobrazovacího spektroskopického reflektometru pro optickou charakterizaci tenkých vrstev neuniformních v optických parametrech. Přístroj vznikl za účelem rozšíření metody zobrazovací spektroskopické reflektometrie pro vzorky tenkých vrstev s velkými gradienty zmíněných neuniformit. Tohoto cíle bylo dosaženo vyšším obrazovým rozlišením nového přístroje. Při jeho návrhu bylo s výhodou využito membránového děliče, který však omezil spektrální rozsah použitého světla pouze na viditelnou a blízkou infračervenou oblast. Nový přístroj doplňuje již dlouhodobě funkční zobrazovací spektroskopický reflektometr pracující také v ultrafialové spektrální oblasti . Oba přístroje umožňují aplikaci zobrazovací spektroskopické reflektometrie na širokou množinu vzorků neuniformních tenkých vrstev
English abstract
A new version of an imaging spectroscopic reflectometer has been developed at the Institute of Physical Engineering, Faculty of Mechanical Engineering, Brno University of Technology. The device has been developed for measurements of thin film samples with high gradients of non-uniformity in their optical parameters. This device uses a membrane beamsplitter (typically called Pellicle beamsplitter) as a basic optical element. The new beamsplitter limits the usage of the device only for measurements in VIS and near IR range of light spectra. The new device is complementary to an older one which works also in UV spectral region, but with a lower sample resolution. Both devices together allow application of imaging spectroscopic reflectometry for a wide range of samples of non-uniform thin films.
Keywords
zobrazovací spektroskopická reflektometrie; membránový dělič; rozlišení obrazu
Key words in English
Imaging spectroscopic reflectometry; membrane beamsplitter; Pellicle beamsplitter; image resolution
Authors
VODÁK, J.; OHLÍDAL, M.
Released
1. 7. 2016
Publisher
Fyzikální ústav Akademie věd České republiky
ISBN
0447-6441
Periodical
Jemná mechanika a optika
Year of study
61
Number
6
State
Czech Republic
Pages from
144
Pages to
148
Pages count
5
BibTex
@article{BUT127118, author="Jiří {Vodák} and Miloslav {Ohlídal}", title="Zobrazovací spektroskopický reflektometr založený na membránovém děliči.", journal="Jemná mechanika a optika", year="2016", volume="61", number="6", pages="144--148", issn="0447-6441" }