Product detail

Systém pro udržování konstantního odstupu od povrchu substrátu

ŘEZNÍČEK, M. BURŠÍK, M. JANKOVSKÝ, J. OTÁHAL, A.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Jedná se o pneumatický systém pro kompenzaci nerovností povrchu substrátů. Princip je založen na sledování změn tlaku vzduchu.

Keywords

Konstantní výška, tlak, měření, udržování

Create date

21. 12. 2015

Location

laboratoř 0.63 Vysoké učení technické v Brně Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií Ústav mikroelektroniky Technická 3058/10 616 00 Brno Česká republika

Possibilities of use

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licence fee

Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek