Membrány bolometru 2. generace

The bolometer membranes of 2. generation

Functioning sample

Design membrán bolometrů druhé generace byl vytvořen pomocí skriptovacího kódu v NanoLithography Toolbox. Bylo vytvořeno několik velikostí čtvercových membrán, a to s rozměry strany membrány 17.5 µm, 25 µm, 30 µm a 40 µm. Membrány bolometru slouží pro detekci IR záření a jsou vyrobeny na křemíkovém substrátu pomocí CMOS kompatibilních procesů. Nejdůležitější snímací část je tvořena se z membrány (SiO2), uvnitř které je integrován odporový meandr (Ti). Při dopadu IR záření na snímací element dojde k jeho ohřátí, a to vyvolá změnu odporu. Tepelné ztráty do substrátu jsou minimalizovány díky tenkým nohám, na kterých je membrána zavěšena. Pro snížení teplotní časové konstanty τ je zúžena a prodloužena noha vedoucí k membráně bolometru. Byl také přidán výrobní krok pro vytvoření závěsů, které zabraňují podleptání bolometrů do stran.

The design of bolometer membranes of second generation was created by using the scripting NanoLithography Toolbox. Several sizes of square membranes, with dimensions of by membrane 17.5 µm, 25 µm, 30 µm and 40 µm membranes of the bolometer is used to detect IR radiation and are made on a silicon substrate using CMOS compatible processes. The most important part of the sensor is fabricated of the membrane (SiO2), inside which is integrated resistive meander (Ti). When the impact of the IR radiation of the sensing element is heating, and a change in resistance. Heat loss into the substrate are minimized thanks to the thin feet, on which is a membrane suspended. To reduce the thermal time constants is reduced and extended leg leading to the membrane of the bolometer. He was also added to the production step to create a trenches to prevent underetching of bolometers to the sides.

Bolometr, IR záření, NanoLithography toolbox

Bolometer, IR radiation, NanoLithography toolbox

Laboratoř 0.67 UMEL, VUT, Technická 10, Brno

In order to use the result by another entity, it is always necessary to acquire a license

http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=131