funkční vzorek

Topný element, který je vytvořen pro pouzdro TO-8 s 12 vývodovými piny, je realizován pomocí tlustovrstvé technologie na korundovém keramickém substrátu. Na substrátu s rozmery 5 x 5 cm a tloušťkou 250 µm je vytvoreno celkem 16 topných elementů. Každý obsahuje celkem 3 tlusté vrstvy, stříbro-platinovou pro vytvoření vodivých kontaktů (ESL Electroscience, type 9695-G), rutheniovou odporovou vrstvu jako aktivni vyhřívací vrstva (ESL Electroscience, type 3911-J) a izolační dielektrickou vrstvu jako elektricka izolace mezi případným vyhřívaným zařízením a topným elementem (ESL Electroscience, type 4771-P1). Vyhřívací platformu lze použít pro vyhřívání vzorků o rozměrech vyhřívací vrstvy, která má 7 x 7 mm. Celá platforma je složena celkem ze dvou částí, topného elementu a podložky. Maximální teplota vyřívací platformy je 300°C.

Vyhřívací platforma, topný element, TO-8

10. 1. 2017

LabSensNano (VUT v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií, Ústav mikroelektroniky, Technická 3058/10, 616 00 Brno, Česká republika).

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

http://labsensnano.umel.feec.vutbr.cz/products.aspx?id=135