Publication detail

Komparativní analýza vrstevnatých struktur metodou SIMS

BÁBOR, P.

Original Title

Komparativní analýza vrstevnatých struktur metodou SIMS

English Title

The Report of comparative analysis of stratified structures by SIMS method

Type

summary research report - contract. research

Language

Czech

Original Abstract

V rámci výzkumné skupiny 62104 Středoevropského technologického institutu, VUT v Brně byl provedena komparativní analýza mnoha vrstevnatých struktur pomocí metody SIMS. Stanovené cíle projektu byly naplněny.

English abstract

Within the research group 62104 of Central European Institute of Technology, BUT Brno was conducted the comparative analysis of stratified structures by SIMS method . Set project goals have been met.

Keywords

analýza, metoda SIMS

Key words in English

analysis, method SIMS

Authors

BÁBOR, P.

Released

20. 12. 2018

Pages from

1

Pages to

1

Pages count

1

BibTex

@misc{BUT158159,
  author="Petr {Bábor}",
  title="Komparativní analýza vrstevnatých struktur metodou SIMS",
  year="2018",
  pages="1--1",
  note="summary research report - contract. research"
}