funkční vzorek

Teoreticky popsaný a experimentálně realizovaný mikrogripper založený na technologii MEMS (mikro-elektromechanický systém) dovoluje velmi přesné zachytávání mikroobjektů (částí vzorků pro rastrovací elektronovou mikroskopii) s lepší než mikrometrovou přesností. Zařízení obsahuje mikromanipulátor z monolitického křemíku s dvěma dlouhými rameny (statickým a pohyblivým) zakončené ostrými čelistmi. Pohyblivé přepákované rameno je aktuováno piezoelektrickým čipem. Křemíková část tohoto zařízení je vyrobena optickou litografií a hlubokým reaktivním iontovým leptáním.

MEMS; mikrogripper; piezo čip; mikromanipulace

31. 12. 2020

Purkyňova 123, Brno, 612 00

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek