Product detail

Funkční prototyp aparatury UHV SEM/SPM

DOLEŽEL, P. LOPOUR, F. PLACHÝ, L. SKLADANÝ, R. ZIGO, J. BÁBOR, P. ŠIKOLA, T.

Product type

prototyp

Abstract

Funkční prototyp aparatury UHV SEM/SPM obsahuje: UHV SEM tubus, přípravní komora, in-beamSE detektor, chlazení (voda/LN2) pro shutter objektivové čočky, manipulátor s rotací, efuzní cela, instalovaný spektrometr Augerovych elektronů, loadlock vybavený pre-loadlockem a preparační komora. Celá aparatura je instalovaná s rámem se zvýšenou tuhosti a aktivním tlumením vibrací. Sestava je také vybavena UHV kompatibilním kryoSPM skenerem vlastní konstrukce.

Keywords

ultra vysoké vakuum; rastrovací elektronový mikroskop; rastrovací hrotový mikroskop; nanomanipulace; nanotechnologie

Create date

31. 12. 2017

Location

TESCAN Brno s.r.o.

Possibilities of use

Výsledek je využíván vlastníkem

Licence fee

Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek