Product detail
Funkční prototyp aparatury UHV SEM/SPM
DOLEŽEL, P. LOPOUR, F. PLACHÝ, L. SKLADANÝ, R. ZIGO, J. BÁBOR, P. ŠIKOLA, T.
Product type
prototyp
Abstract
Funkční prototyp aparatury UHV SEM/SPM obsahuje: UHV SEM tubus, přípravní komora, in-beamSE detektor, chlazení (voda/LN2) pro shutter objektivové čočky, manipulátor s rotací, efuzní cela, instalovaný spektrometr Augerovych elektronů, loadlock vybavený pre-loadlockem a preparační komora. Celá aparatura je instalovaná s rámem se zvýšenou tuhosti a aktivním tlumením vibrací. Sestava je také vybavena UHV kompatibilním kryoSPM skenerem vlastní konstrukce.
Keywords
ultra vysoké vakuum; rastrovací elektronový mikroskop; rastrovací hrotový mikroskop; nanomanipulace; nanotechnologie
Create date
31. 12. 2017
Location
TESCAN Brno s.r.o.
Possibilities of use
Výsledek je využíván vlastníkem
Licence fee
Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek