Publication detail

3D optický profilometr pro mapování inženýrských povrchů

ŠPERKA, P. HARTL, M.

Original Title

3D optický profilometr pro mapování inženýrských povrchů

English Title

3D optical profilometer for surface topography mapping

Type

conference proceedings

Language

Czech

Original Abstract

V článku je prezentována aplikace interferometrie s řízenou změnou fáze (phase shifting interferometry - PSI) pro in-situ studium reálných tribologických problémů. Byl sestaven systém 3D optického profilometru, tj. měřicí aparatura a vyvinuté softwarové rozhraní. Článek obsahuje popis metody, použitého algoritmu, řešení kalibrace kamery metodou radiometrické autokalibrace (radiometric self calibration), popis měřicí aparatury a vyvinutého softwaru. Jsou prezen-továny výsledky ověření přesnosti měření na standardu SHS 880 QC VLSI a aplikace metody na reálné povrchy. Závěr obsahuje shrnutí práce a diskuzi o možnostech zlepšení přesnosti 3D profilometru.

English abstract

This paper deals with the development of software for three dimensional optical profilometry based on phase shifting interferometry. The introduction describes the fundamentals of method, algorithm and sources of error. The main section includes the camera calibration solution by using radiometric self calibration, description of measuring configuration equipments. The characterization of developed software are part of the next section. Lastly, results of accuracy verification, measurement of real surfaces are presented and discussed.

Keywords

optická interferometrie, interferometrie s řízenou změnou fáze, měření topografie povrchu, optický profilometr, standard SHS VLSI

Key words in English

optical interferometry, phase shifting interferometry, surface topography measurement, optical profilometer, standard SHS VLSI

Authors

ŠPERKA, P.; HARTL, M.

RIV year

2007

Released

5. 6. 2007

Publisher

Ústav konstruování

Location

Ústav konstruování, fakulta strojního inženýrství, VUT v Brně

ISBN

978-80-214-3406-6

Book

Konference diplomových prací 2007

Edition

1

Edition number

1

Pages from

1

Pages to

5

Pages count

5

BibTex

@proceedings{BUT28070,
  editor="Petr {Šperka} and Martin {Hartl}",
  title="3D optický profilometr pro mapování inženýrských povrchů",
  year="2007",
  series="1",
  number="1",
  pages="1--5",
  publisher="Ústav konstruování",
  address="Ústav konstruování, fakulta strojního inženýrství, VUT v Brně",
  isbn="978-80-214-3406-6"
}