Publication detail

Nanotechnologie, nanoelektronika a optická nanometrologie

TOMÁNEK, P.

Original Title

Nanotechnologie, nanoelektronika a optická nanometrologie

English Title

Nanotechnology, nanoelectronics, optical nanometrology

Type

conference paper

Language

Czech

Original Abstract

Článek přináší přehled nanotechnologických přístupů, nanoelektroniky a aplikace optické nanometrologie na studium nanostruktur.

English abstract

The paper brings an overview of nanotechological approaches, nanoelectronics and applications of optical nanometrology on the investigation of semiconductor structures.

Keywords

nanometrologie, nanoelektronika, optická nanometrologie, aplikace

Key words in English

nanotechnology, nanoelectronics, optical nanometrology, applications

Authors

TOMÁNEK, P.

RIV year

2003

Released

20. 12. 2000

Publisher

Ing. Zdeněk Novotný, CSc.

Location

Brno

ISBN

80-214-1781-1

Book

20 let Ústavu mikroelektroniky FEI VUT v Brně

Pages from

68

Pages to

76

Pages count

9

BibTex

@inproceedings{BUT3323,
  author="Pavel {Tománek}",
  title="Nanotechnologie, nanoelektronika a optická nanometrologie",
  booktitle="20 let Ústavu mikroelektroniky FEI VUT v Brně",
  year="2000",
  pages="9",
  publisher="Ing. Zdeněk Novotný, CSc.",
  address="Brno",
  isbn="80-214-1781-1"
}