Přístupnostní navigace
E-application
Search Search Close
Publication detail
BÁBOR, P.
Original Title
Analýza povrchů tenkých vrstev metodou SIMS
English Title
A SIMS anlysis of solid surfaces
Type
conference paper
Language
Czech
Original Abstract
Hmotnostní spektroskopie sekundárních iontů (SIMS) je založena na bombardování povrchu pevné látky ionty. Dopad iontů s danou energií do povrchové vrstvy způsobuje odprašování částic z tohoto prostoru. Primární ionty jsou implantovány do pevné látky, nebo se odráží od povrchu. Některé uvolněné částice, především atomy, ale i molekuly a shluky atomů (clustery), jsou ionizovány, což umožní jejich identifikaci hmotnostním analyzátorem. Hmotnostní spektrum sekundárních iontů nám poskytuje informaci o prvkovém složení povrchu.
English abstract
SIMS - Secundary Ion Mass Spectroscopy is a tool for chemical analysis of solid surfaces. Incident ion beam is sputering parcicles from solid surface. Some of that atoms (molecules, clusters) are ionized, so we cas analize them by mass spectromery.
Key words in English
SIMS
Authors
RIV year
2004
Released
19. 9. 2001
Publisher
Fakulta strojního inženýrství VUT v Brně
Location
Brno
Pages from
131
Pages to
133
Pages count
3
BibTex
@inproceedings{BUT3357, author="Petr {Bábor}", title="Analýza povrchů tenkých vrstev metodou SIMS", booktitle="Juniormat '01 sborník", year="2001", pages="3", publisher="Fakulta strojního inženýrství VUT v Brně", address="Brno" }