Publication detail

Analýza povrchů tenkých vrstev metodou SIMS

BÁBOR, P.

Original Title

Analýza povrchů tenkých vrstev metodou SIMS

English Title

A SIMS anlysis of solid surfaces

Type

conference paper

Language

Czech

Original Abstract

Hmotnostní spektroskopie sekundárních iontů (SIMS) je založena na bombardování povrchu pevné látky ionty. Dopad iontů s danou energií do povrchové vrstvy způsobuje odprašování částic z tohoto prostoru. Primární ionty jsou implantovány do pevné látky, nebo se odráží od povrchu. Některé uvolněné částice, především atomy, ale i molekuly a shluky atomů (clustery), jsou ionizovány, což umožní jejich identifikaci hmotnostním analyzátorem. Hmotnostní spektrum sekundárních iontů nám poskytuje informaci o prvkovém složení povrchu.

English abstract

SIMS - Secundary Ion Mass Spectroscopy is a tool for chemical analysis of solid surfaces. Incident ion beam is sputering parcicles from solid surface. Some of that atoms (molecules, clusters) are ionized, so we cas analize them by mass spectromery.

Key words in English

SIMS

Authors

BÁBOR, P.

RIV year

2004

Released

19. 9. 2001

Publisher

Fakulta strojního inženýrství VUT v Brně

Location

Brno

Pages from

131

Pages to

133

Pages count

3

BibTex

@inproceedings{BUT3357,
  author="Petr {Bábor}",
  title="Analýza povrchů tenkých vrstev metodou SIMS",
  booktitle="Juniormat '01 sborník",
  year="2001",
  pages="3",
  publisher="Fakulta strojního inženýrství VUT v Brně",
  address="Brno"
}