Optické metody diagnostiky plazmatu pro depozice tenkých vrstev za nízkého tlaku

Optical Plasma Diagnostic Methods for the Low Pressure Depositions

journal article - other

Czech

Příspěvek podává základní přehled metod optické spektroskopie užívyných v diagnostice nízkotlakého plazmatu. Na základě poznatků z kvantové mechaniky je podán přehled postupů výpočtu elektronové, vibrační a rotační teploty ze spektra. Je také zahrnut výpočet koncentrace elektronů. Na příkladu nehomogenního plazmatu je ukázán proncip Abelovy transformace. Poslední část pak podává stručný přehled absorpčních spektroskopických metod s ohledem na jejich využitelnost v diagnostice plazmatu.

The contribution is focused on the basic information about optical spectroscopy methods applied in the field of low-pressure plasma diagnostics. Tha basic quantum mechanics is given, too, and on this background the determination of electron, vibrational and rotational temperatures are given. The calculation of electron concentration from the spectra is also included. The principle of Abel transformation is shown on the example of non-homogeneous plasma object. The last part gives an overview through the absorption spectroscopy methods and their applicability in plasma diagnostics.

optical emission spectroscopy, absorption spectroscopz, laser spectroscopy, spectrometer, Abel transformation

KRČMA, F.

2005

30. 5. 2005

Česká vakuová společnost

Praha

1213-2705

Zpravodaj České Vakuové Společnosti

13

2

Czech Republic

6

16

11