Publication detail

Měření povrchů holografickým konfokálním mikroskopem

CHMELÍK, R., HARNA, Z., LOVICAR, L., ANTOŠOVÁ, I.

Original Title

Měření povrchů holografickým konfokálním mikroskopem

English Title

Surface Measurement by a Holographic Confocal Microscope

Type

journal article - other

Language

Czech

Original Abstract

Holografický konfokální mikroskop zobrazuje na principu nekoherentní holografie v reálném čase, takže kromě obrazové amplitudy je přirozeně rekonstruována také obrazová fáze. V tomto článku ukazujeme teoreticky i experimentálně, že při pozorování povrchů lze jejich fázová zob-razení převádět na výškové mapy a to s přesností několika nanometrů. Nejednoznačnost fázového skoku, která vzniká v oblastech velkých výškových skoků, je odstraněna méně přesným, ale zato jednoznačným měřením dané oblasti pomocí intenzitního zobrazení v holografickém kon-fokálním mikroskopu, které je hloubkově diskriminováno. Potřebné osové rozlišovací schopnosti je přitom dosaženo použitím spektrálně širokopásmového osvětlení.

English abstract

Imaging by a holographic confocal microscope is based on the principle of a real-time incoherent holography. For this reason, the image phase is inherently reconstructed in addition to the image intensity. In this paper, we prove both theoretically and experimentally that the phase images of surfaces can be converted into their height maps with precision of several nanometers. Ambiguity of the phase jump, which appears in the regions of great jumps of height, was removed by a less precise, but non-ambiguous measurement of the region by an intensity image component, which is depth-discriminated in the holographic confocal microscope. The necessary axial resolution was achieved by the use of a spectrally broadband illumination.

Key words in English

low-coherence interference microscopy, holographic microscopy, confocal microscopy, optical sectioning

Authors

CHMELÍK, R., HARNA, Z., LOVICAR, L., ANTOŠOVÁ, I.

RIV year

2004

Released

1. 1. 2003

ISBN

0447-6441

Periodical

Jemná mechanika a optika

Year of study

48

Number

6

State

Czech Republic

Pages from

174

Pages to

177

Pages count

4

BibTex

@article{BUT45433,
  author="Radim {Chmelík} and Zdeněk {Harna} and Luděk {Lovicar} and Irena {Antošová}",
  title="Měření povrchů holografickým konfokálním mikroskopem",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2003",
  volume="48",
  number="6",
  pages="4",
  issn="0447-6441"
}