Mikroelektronicke_senzory_a_systemy_S.pdf

Microelectronic sensors and systems

course reader

Czech

Neustálou snahou člověka je poznání různých přírodních, fyzikálních, chemických a dalších zákonitostí. Na základě získaných výsledků dochází ke zpřesňování a zkvalitňování výrobních technologií. Nejprudší vývoj probíhá za několik posledních desetiletí na poli elektroniky, která dnes ovlivňuje všechny dalších vědních obory a pomáhá člověku svými principy, technologiemi a aplikacemi k dalšímu poznávání okolního světa. Ke zjišťování informací o stavu okolního světa byly stanoveny člověkem různé fyzikální a chemické veličiny a jednotky (geometrických, mechanických, tepelných, chemických, biologických, pro měření elektrostatických a magnetických polí, intenzit záření, atd.). Významné postavení při jejich získávání a dalším zpracování má senzorová technika. Vývoj senzorové techniky ovlivňuje výrazným způsobem vývoj mikroelektronických technologiích.

The aim of human is to study and to know nature rules. Consequently The technologies are improved from obtained results. The highest development i spointed on field of electronics at last ten years. The human set several kind of chemical and physical valors and units for description of the nature world (geometrical, mechanical, thermal, chemical, biological, for measurements of electrostatic a magnetic fields, intension of rate, etc.). Important position in their study, description and next processing has sensor technique. Development of sensors impact new microelectronics technology development.

microsenzory, microsystémy, teplotní senzory,kapacitní senzory, magnetické sensory, chemické senzory, senzory plynů, biosenzory

microsensor, microsystem, temperature sensors,kapacitive sensors, magnetic sensors, chemical sensors, gas sensors, biosensors

HUBÁLEK, J., ADÁMEK, M.

18. 11. 2003

1

46

46