Product detail

Zobrazovací in situ reflektometr

SPOUSTA, J. URBÁNEK, M. ŠIKOLA, T. CHMELÍK, R.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Monitorování plošné homogenity optických vlastností tenkých vrstev.

Keywords

tenké vrstvy, in situ analýza, optické vlastnosti, reflektometr

Create date

23. 1. 2007

Location

A2/518

Possibilities of use

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licence fee

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek