Product detail

Elektrodepoziční systém

KAVÁLEK, O. ČECH, O. VONDRÁK, J. SEDLAŘÍKOVÁ, M.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Systém lze využít pro elektrochemickou depozici tenkých vrstev v řízené atmosféře.

Keywords

Elektrochemická depozice, rukavicový box, inertní atmosféra

Create date

17. 12. 2010

Location

N 3.67

Possibilities of use

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licence fee

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek