software

Program slouží pro vyhodnocení měření topografie povrchu interferometrií v bílém světle (White light scanning interferometry), při kterém se povrch vzorku skenuje ve vertikálním směru s krokem 70-140 nm. Výsledkem je sada interferogramů, běžně v počtu 64 až 512 snímků. Sada snímků obsahuje pro každý bod obrazu signál, který se skládá z dvou komponent. První je nosná vlna, jehož frekvence je daná střední vlnovou délkou použitého zdroje, druhou komponentou je modulační vlna, jehož vlnová délka je dána spektrální šířkou zdroje. Úkolem programu je vyhodnotit sadu snímků a lokalizovat místo maximální interference.

topografie povrchu, interferometrie, bílé světlo

31. 10. 2010

místnost A2/401 ÚSTAV KONSTRUOVÁNÍ Vysoké učení technické v Brně, FSI Technická 2896/2 616 69 BRNO

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

http://dl.uk.fme.vutbr.cz/zobraz_soubor.php?id=1289