Patent detail

Ionizační detektor s elektrostatickým separátorem (ISEDS)

NEDĚLA, V. JIRÁK, J.

Patent type

Patent

Abstract

Základní filozofií Ionizačního detektoru sekundárních elektronů s elektrostatickým separátorem (ISEDS) je optimalizace fyzikálního principu detekce signálních elektronů v podmínkách vysokého tlaku plynů EREM, při zachování vysokého podílu detekovaného signálu sekundárních elektronů s minimálním příspěvkem zpětně odražených elektronů. Vhodně situované elektrostatické pole separátoru ISEDS, nacházející se zejména nad a kolem pozorovaného vzorku, efektivně filtruje vysokoenergiové BSE a dovoluje detekci nízkoenergiových SE s vysokou selektivitou.

Keywords

ISEDS, sekundární elektrony, VP SEM

Patent number

299864

Date of application

17. 6. 2009

Date of registration

20. 1. 2010

Publisher

Úřad průmyslového vlastnictví

Owner

UPT AVČR, v.v.i

Possibilities of use

In order to use the result by another entity, it is always necessary to acquire a license

Licence fee

The licensor requires a license fee for the result