Publication detail

Optimalizace detekce sekundárních elektronů experimentálním scintilačním SE detektorem pro VP-ESEM

ČUDEK, P.

Original Title

Optimalizace detekce sekundárních elektronů experimentálním scintilačním SE detektorem pro VP-ESEM

English Title

Optimization of secondary electrons detection by experimental scintillation SE detector for VP-ESEM

Type

conference paper

Language

Czech

Original Abstract

Práce se zabývá problematikou optimalizace detekce sekundárních elektronů experimentálním scintilačním SE detektorem pro environmentální rastrovací mikroskop pracující s vyšším tlakem v komoře vzorku od tlaku 0,1 Pa až po tlaky běžně používané ve VP-ESEM

English abstract

This article deals with the problematic of the optimization of secondary electrons detection by the experimental scintillation secondary electron detector for varriable pressure / environmental scanning electron microscope for pressure range from 0,1 Pa to pressure used in VP-ESEM

Key words in English

Variable pressure environmental scanning electron microscope, scintillation secondary electron detector, secondary electrons, backscattered electrons, signal level.

Authors

ČUDEK, P.

RIV year

2011

Released

2. 11. 2011

ISBN

978-80-261-0016-4

Book

Elektrotechnika a Informatika 2011

Pages from

13

Pages to

16

Pages count

4

BibTex

@inproceedings{BUT74452,
  author="Pavel {Čudek}",
  title="Optimalizace detekce sekundárních elektronů experimentálním scintilačním SE detektorem pro VP-ESEM",
  booktitle="Elektrotechnika a Informatika 2011",
  year="2011",
  pages="13--16",
  isbn="978-80-261-0016-4"
}