Product detail

Hrotové zařízení pro lokální depozice a měření na čipu

HRDÝ, R. HUBÁLEK, J.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Přípravek umožňuje po připojení k zdroji kontaktovat a provádět lokální elektrodepozice přímo na křemíkových substrátrech nebo čipech a tak modifikovat vymezenou oblast. Dále umožňuje v kombinaci se Autolabem firmy MethroOhm provádět měření přímo v modifikované oblasti.

Keywords

Hrotové měření, lokální depozice, křemíkový substrát

Create date

23. 12. 2011

Location

Laboratoř 0.66 UMEL, VUT, Technická 10, Brno

Possibilities of use

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Licence fee

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

www

http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=17