Publication detail

Napěťový kontrast v ESEM

Linhart J., Neděla V., Autrata R.

Original Title

Napěťový kontrast v ESEM

English Title

Voltage contrast in ESEM

Type

conference paper

Language

Czech

Original Abstract

Jednou z diagnostických metod používaných v polovodičovém průmyslu je diagnostika pomocí tzv. napěťového kontrastu v rastrovací elektronové mikroskopii.

English abstract

Voltage contrast is one of the diagnotic method used in semiconductor industry.

Keywords

napěťový kontrast, environmentální rastrovací elektronová mikroskopie

Key words in English

voltage contrast, environmental scanning electron microscopy

Authors

Linhart J., Neděla V., Autrata R.

RIV year

2006

Released

16. 2. 2006

Publisher

Československá mikroskopická společnost

Location

Nové Město na Moravě

Pages from

36

Pages to

36

Pages count

1

BibTex

@inproceedings{BUT18515,
  author="Jan {Linhart} and Vilém {Neděla}",
  title="Napěťový kontrast v ESEM",
  booktitle="Mikroskopie 2006",
  year="2006",
  pages="1",
  publisher="Československá mikroskopická společnost",
  address="Nové Město na Moravě"
}