Přístupnostní navigace
E-application
Search Search Close
Publication detail
KONVALINA, I. MÜLLEROVÁ, I.
Original Title
Účinnost sběru sekundárních elektronů v REM.
Type
conference paper
Language
Czech
Original Abstract
Práce se zabývá modelováním sběrové účinnosti Everhart-Thornley-ho (ET) detektoru sekundárních elektronů (SE). Cílem je studovat vlivy elektromagnetických polí a geometrických parametrů v komoře mikroskopu a modelovat transport částic v oblasti vzorku za účelem optimalizace jednotlivých modulů trasy.
Keywords
sběrová účinnost, sekundární elektrony, ET detektor
Authors
KONVALINA, I.; MÜLLEROVÁ, I.
Released
11. 3. 2004
BibTex
@inproceedings{BUT21743, author="Ilona {Müllerová} and Ivo {Konvalina}", title="Účinnost sběru sekundárních elektronů v REM.", year="2004" }