Publication detail

Vytváření nanoporézní struktury v tenkovrstevné technilogii

HRDÝ, R.

Original Title

Vytváření nanoporézní struktury v tenkovrstevné technilogii

English Title

Fabrication of nanoporous structure in thin film technology

Type

book

Language

Czech

Original Abstract

Předkládaná práce se zabývá nalezením vhodných podmínek pro výrobu nanaporézní keramiky na tenké hliníkové vrstvě. V této práci jsou popsány postupy výroby nanoporézních struktur s póry o rozměrech 15 až 300 nm a jejich následné možné využití v senzorové technice. Vytvoření pravidelné hexagonální struktury pomocí elektrochemické oxidace je závislé na mnoha parametrech, které ovlivňují pravidelnost uspořádání a parametry vytvořené keramiky. Všechny výsledky byly zkoumány pomocí SEM analýzy.

English abstract

This work deals with issues of finding suitable conditions for fabrication of nanoporous ceramic from thin alumina film. The techniques of preparing nanoporous structures and following utilization in sensors applications are described in this work. Diameters of the pores are between 15 to 300 nm. The fabrication of ordered hexagonally structure by the force of electrochemical oxidation depends on many parameters, witch influence regularity of ordering and parameters of created ceramic. All results were observed by the SEM analysis.

Keywords

nanoporézní maska, anodizace, depozice, tenká vrstva

Key words in English

nanoporous template, anodization, deposition, thin film

Authors

HRDÝ, R.

Released

25. 5. 2006

Location

Brno

Pages from

1

Pages to

49

Pages count

49

BibTex

@book{BUT61889,
  author="Radim {Hrdý}",
  title="Vytváření nanoporézní struktury v tenkovrstevné technilogii",
  year="2006",
  address="Brno",
  edition="1.",
  pages="1--49"
}