Course detail

Basics of Electron Microscopy

FEKT-MPC-ZEMAcad. year: 2023/2024

Not applicable.

Language of instruction

Czech

Number of ECTS credits

5

Mode of study

Not applicable.

Guarantor

Ing. Dušan Nešpor, Ph.D.

Department

Department of Theoretical and Experimental Electrical Engineering (UTEE)

Entry knowledge

Not applicable.

Rules for evaluation and completion of the course

Not applicable.

Aims

Not applicable.

Study aids

Not applicable.

Prerequisites and corequisites

Not applicable.

Basic literature

DĚDEK, L, DĚDKOVÁ, J. Elektromagnetismus. Vysoké učení technické v Brně. Nakladatelství VUTIUM, 2000. ISBN 80-214-1106-6. (CS)
REIMER, Ludwig. Scanning electron microscopy: physics of image formation and microanalysis. Berlin: Springer-Verlag, 1985. Springer series in optical sciences, vol. 45. ISBN 3-540-13530-8. (CS)

Recommended reading

Not applicable.

Elearning

eLearning: currently opened course

Classification of course in study plans

  • Programme MPC-SVE Master's 0 year of study, summer semester, elective
  • Programme MPC-MEL Master's 2 year of study, summer semester, compulsory-optional
  • Programme MPC-KAM Master's 0 year of study, summer semester, elective
  • Programme MPC-EVM Master's 0 year of study, summer semester, elective
  • Programme MPC-EKT Master's 0 year of study, summer semester, elective
  • Programme MPC-EEN Master's 0 year of study, summer semester, elective
  • Programme MPC-EAK Master's 0 year of study, summer semester, elective
  • Programme MPC-BTB Master's 0 year of study, summer semester, elective
  • Programme MPC-BIO Master's 0 year of study, summer semester, elective
  • Programme MPAD-BIO Master's 0 year of study, summer semester, elective

Type of course unit

 

Lecture

26 hod., optionally

Teacher / Lecturer

Ing. Dušan Nešpor, Ph.D.

Syllabus

1. Úvod do problematiky elektronové mikroskopie. Prozařovací mikroskopy. Rastrovací mikroskopy.
2. Teorie vakua. Základy vakuové techniky.
3. Vakuové měrky, vakuové a ultravakuové vývěvy.
4. Zdroje elektronů. Teplá emise, studená emise, Schottkyho emise.
5.Elektronová optika. Elektromagnetické čočky.
6.Numerická analýza elektromagnetických polí. Trasování nabitých částic.
7.Optické vady v elektronovém mikroskopu a jejich kompenzace.
8.Interakce elektronů s látkou.
9. Elektronové detektory.
10. Přesné mechanické manipulátory.
11.Příprava vzorků pro rastrovací a prozařovací eletronovou mikroskopii.
12. Speciální analýzy využívající elektronové mikroskopie. EDX, TOF-SIMS, CL, Ramanova spekroskopie.
13. Shrnutí, opakování.
 

Exercise in computer lab

24 hod., compulsory

Teacher / Lecturer

Ing. Rastislav Motúz, Ph.D.

Syllabus

1. Úvod do problematiky elektronové mikroskopie. Prozařovací mikroskopy. Rastrovací mikroskopy.
2. Teorie vakua. Základy vakuové techniky.
3. Vakuové měrky, vakuové a ultravakuové vývěvy.
4. Zdroje elektronů. Teplá emise, studená emise, Schottkyho emise.
5.Elektronová optika. Elektromagnetické čočky.
6.Numerická analýza elektromagnetických polí. Trasování nabitých částic.
7.Optické vady v elektronovém mikroskopu a jejich kompenzace.
8.Interakce elektronů s látkou.
9. Elektronové detektory.
10. Přesné mechanické manipulátory.
11.Příprava vzorků pro rastrovací a prozařovací eletronovou mikroskopii.
12. Speciální analýzy využívající elektronové mikroskopie. EDX, TOF-SIMS, CL, Ramanova spekroskopie.

Field trip

2 hod., optionally

Teacher / Lecturer

Ing. Dušan Nešpor, Ph.D.

Syllabus

Exkurze do firmy Tescan

Elearning

eLearning: currently opened course