Detail předmětu

Tenké vrstvy

FCH-MCO_TVRAk. rok: 2011/2012

Struktura přednášky zahrnuje definici základních pojmů, základy techniky vakua, úvod do plazmochemie, technologie přípravy vrstev - napařování, rozprašování, plazmová polymerace, využití laserů pro depozice tenkých vrstev, depozice z plynné fáze, charakterizace tenkých vrstev - růst vrstev, tloušťka tenké vrstvy, techniky sondové mikroskopie (STM, AFM, EFM, MFM, SNOM), mechanické vlastnosti (měřící techniky, pnutí, adheze).

Jazyk výuky

čeština

Počet kreditů

Garant předmětu

prof. RNDr. Vladimír Čech, Ph.D.

Zajišťuje ústav

Ústav chemie materiálů (ÚCHM)

Výsledky učení předmětu

Studenti získají základní znalosti o průmyslových technologiích pro přípravu tenkých vrstev, jejich povrchové a objemové analýze. Tyto znalosti mohou využít při zpracování diplomové práce a také později jako technologové a výzkumní pracovníci.

Prerekvizity

Základy chemie a fyziky.

Plánované vzdělávací činnosti a výukové metody

Metody vyučování závisejí na způsobu výuky a jsou popsány článkem 7 Studijního a zkušebního řádu VUT.

Způsob a kritéria hodnocení

Součástí zkoušky je vstupní písemný test. Vlastní zkouška probíhá ústně a hodnotí úroveň základních znalostí studenta z technologií přípravy vrstev, způsobů jejich charakterizace, vlastností a použití tenkých vrstev v rozsahu probíraném na přednášce.

Osnovy výuky

Úvod / Informační zdroje
Základy techniky vakua
Úvod do fyziky a chemie plazmatu
Fyzikální metody pro přípravu tenkých vrstev
Chemické metody pro přípravu tenkých vrstev
Plazmochemická depozice z plynné fáze
Růst tenké vrstvy
Měření tloušťky tenkých vrstev
Rastrovací sondová mikroskopie
Mechanické vlastnosti tenkých vrstev

Učební cíle

Cílem kurzu je seznámit studenty s pokročilými technologiemi přípravy a analýzy tenkých vrstev.

Vymezení kontrolované výuky a způsob jejího provádění a formy nahrazování zameškané výuky

Studenti dostanou na začátku semestru zadánu literaturu ke studiu. Její nastudování je kontrolováno na konci semestru formou písemného testu a ústní zkoušky.

Základní literatura

Eckertová L.: Fyzika tenkých vrstev. SNTL, Praha 1973. (CS)
Hoffman D., Singh B., Thomas J. H.: Handbook of Vacuum Science and Technology. Academic Press, San Diego 1998. (CS)
Mironov V. L.: Fundamentals of Scanning Probe Microscopy. Tekhnosfera, Moscow 2004. (CS)
Ohring M.: Materials Science of Thin Films. Academic Press, San Diego 2002. (CS)

Zařazení předmětu ve studijních plánech

  • Program NPCP_CHM magisterský navazující

    obor NPCO_CHM , 1 ročník, letní semestr, povinně volitelný

  • Program NPCP_SCH magisterský navazující

    obor NPCO_SCH , 2 ročník, letní semestr, povinně volitelný
    obor NPCO_SCH , 1 ročník, letní semestr, povinně volitelný

  • Program CKCP_CZV celoživotní vzdělávání (není studentem)

    obor CKCO_CZV , 1 ročník, letní semestr, povinně volitelný

  • Program NKCP_CHM magisterský navazující

    obor NKCO_CHM , 1 ročník, letní semestr, povinně volitelný

  • Program NKCP_SCH magisterský navazující

    obor NKCO_SCH , 1 ročník, letní semestr, povinně volitelný
    obor NKCO_SCH , 2 ročník, letní semestr, povinně volitelný

Typ (způsob) výuky

 

Přednáška

26 hod., nepovinná

Vyučující / Lektor

prof. RNDr. Vladimír Čech, Ph.D.

Konzultace v kombinovaném studiu

13 hod., nepovinná

Vyučující / Lektor

prof. RNDr. Vladimír Čech, Ph.D.