Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail předmětu
CEITEC VUT-DS110AAk. rok: 2014/2015
Přednáška poskytne stručný přehled jevů, ke kterým dochází v plazmatu elektrických výbojů a prodiskutuje základní principy výbojů, které se využívají v mikroelektronice a pro syntézu nanomatriálů. Studenti získají informace o metodách využívajících plazmových procesů jako je plazmové leptání, modifikace povrchů plazmatem, plazmochemická depozice z plynné fáze (PECVD) a magnetronové naprašování. Možnosti těchto technologií budou demonstrovány na konkrétních příkladech leptání velmi úzkých (high-aspect-ratio) struktur, funkcionalizace povrchů, syntéze uhlíkových nanomateriálů a syntéze nanočástic na bázi kovů.
Jazyk výuky
Garant předmětu
Zajišťuje ústav
Osnovy výuky
Základní literatura
Zařazení předmětu ve studijních plánech
obor PNTMT , 1 ročník, zimní semestr, povinně volitelnýobor PNTMT , 2 ročník, zimní semestr, povinně volitelný