Detail předmětu

Tenké vrstvy

FCH-MC_TVRAk. rok: 2023/2024

Struktura přednášky zahrnuje definici základních pojmů, základy techniky vakua, úvod do plazmochemie, technologie přípravy vrstev - napařování, rozprašování, plazmová polymerace, využití laserů pro depozice tenkých vrstev, depozice z plynné fáze, charakterizace tenkých vrstev - růst vrstev, tloušťka tenké vrstvy, techniky sondové mikroskopie (STM, AFM, EFM, MFM, SNOM), mechanické vlastnosti (měřící techniky, pnutí, adheze).

Jazyk výuky

čeština

Počet kreditů

3

Garant předmětu

prof. RNDr. Vladimír Čech, Ph.D.

Zajišťuje ústav

Ústav chemie materiálů (ÚCHM)

Vstupní znalosti

Základy chemie a fyziky.

Pravidla hodnocení a ukončení předmětu

Písemný vstupní test a po jeho úspěšném absolvování (úspěšnost >50%) probíhá ústní zkouška, která hodnotí úroveň základních znalostí studenta z technologií přípravy vrstev, způsobů jejich charakterizace, vlastností a použití tenkých vrstev v rozsahu probíraném na přednášce.
Účast na přednášce není povinná.

Učební cíle

Cílem kurzu je seznámit studenty s pokročilými technologiemi přípravy a analýzy tenkých vrstev.
Studenti získají základní znalosti o průmyslových technologiích pro přípravu tenkých vrstev, o vybraných analýzách vlastností vrstev a jejich aplikacích. Tyto znalosti mohou využít při zpracování diplomové práce a také později jako technologové a výzkumní pracovníci.

Základní literatura

D. Hoffman, B. Singh, J.H. Thomas, Handbook of Vacuum Science and Technology, Academic Press 1998 (CS)
L. Eckertová, Fyzika tenkých vrstev, SNTL 1973 (CS)
M. Ohring, Materials Science of Thin Films, Academic Press 2002 (CS)
V. L. Mironov, Fundamentals of Scanning Probe Microscopy, NT-MDT 2004 (CS)

Elearning

eLearning: aktuální otevřený kurz

Zařazení předmětu ve studijních plánech

  • Program NKCP_CHTM magisterský navazující 2 ročník, zimní semestr, povinně volitelný
  • Program NPCP_CHTM magisterský navazující 2 ročník, zimní semestr, povinně volitelný

Typ (způsob) výuky

 

Přednáška

26 hod., nepovinná

Vyučující / Lektor

prof. RNDr. Vladimír Čech, Ph.D.

Osnova

1. Úvod / Informační zdroje
2. Základy techniky vakua
3. Úvod do fyziky a chemie plazmatu
4. Fyzikální metody pro přípravu tenkých vrstev
5. Chemické metody pro přípravu tenkých vrstev
6. Plazmochemická depozice z plynné fáze
7. Růst tenké vrstvy
8. Měření tloušťky tenkých vrstev
9. Rastrovací sondová mikroskopie
10. Mechanické vlastnosti tenkých vrstev
11. Případová studie
12. Případová studie
13. Písemný test, návštěva laboratoří

Konzultace v kombinovaném studiu

26 hod., nepovinná

Vyučující / Lektor

prof. RNDr. Vladimír Čech, Ph.D.

Elearning

eLearning: aktuální otevřený kurz