Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail předmětu
FEKT-BPC-MMSAk. rok: 2023/2024
Úvod do problematiky mikrosenzorů, základních pojmů a parametrů, a mikroelektromechanických systémů (MEMS). Základy mikroelektronických technologií a MEMS technologie. Základy jevů v materiálech včetně polovodičů a jejich využití v senzorice. Odporové, kapacitní a indukčnostní microsenzory včetmě MEMS řešení (polohy, tlaku, teploty, zrychlení, ...) . Magnetoelektrické senzory a Hallovy sondy. Generátorové senzory na termoelektrickém, piezoelektrickém a indukčním principu. Optické senzory a senzory se CCD prvky. Generátorové senzory světelného záření. Chemické senzory a biosenzory (vodivostní, pH senzory, lambda sonda, enzymové senzory, ...). Nové trendy v mikrosenzorice a v MEMS.
Jazyk výuky
Počet kreditů
Garant předmětu
Zajišťuje ústav
Vstupní znalosti
Pravidla hodnocení a ukončení předmětu
Učební cíle
Absolvent předmětu je schopen:
Základní literatura
Doporučení literatura
Elearning
Zařazení předmětu ve studijních plánech
Přednáška
Vyučující / Lektor
Osnova
Laboratorní cvičení
Úvodní cvičení. Administrativní a organizační záležitosti. Bezpečnost práce v laboratoři. Praktické základy mikroelektronických technologií, zadaní samostatných laboratorních projektů. Měření polohy. Měření teploty. Měření tlaku. Měření vibrací a náklanu pomocí MEMS. Měření snímačů světelného záření. Měření vodivosti a pH.Měření na chemických látek v roztoku.Měření plynů.Speciální snímače.Konzultace k samostatným laboratorním projektům. Volné téma.Zápočtový test.