Detail předmětu

Příprava a vlastnosti tenkých vrstev materiálů

FCH-DCO_PTVAk. rok: 2023/2024

Struktura přednášky zahrnuje definici základních pojmů, základy techniky vakua, úvod do plazmochemie, technologie přípravy vrstev - napařování, rozprašování, plazmová polymerace, využití laserů pro depozice tenkých vrstev, depozice z plynné fáze, charakterizace tenkých vrstev - růst vrstev, tloušťka tenké vrstvy, techniky sondové mikroskopie (STM, AFM, EFM, MFM, SNOM), mechanické vlastnosti (měřící techniky, pnutí, adheze).

Jazyk výuky

čeština

Garant předmětu

prof. RNDr. Vladimír Čech, Ph.D.

Zajišťuje ústav

Ústav chemie materiálů (ÚCHM)

Vstupní znalosti

Úvod do tenkých vrstev.

Pravidla hodnocení a ukončení předmětu

Písemný vstupní test a ústní zkouška.
Přednášky jsou nepovinné.

Učební cíle

Cílem kurzu je seznámit studenty s pokročilými technologiemi přípravy a analýzy tenkých vrstev.
Studenti získají znalosti z problematiky tenkých vrstev nezbytné pro řešení jejich disertační práce.

Základní literatura

D. Hoffman, B. Singh, J.H. Thomas, Handbook of Vacuum Science and Technology, Academic Press 1998. (CS)
H. Bubert, H. Jenett, Surface and Thin Film Analysis, Wiley-VCH, 2002 (CS)
M. Ohring, Materials Science of Thin Films, Academic Press 2002. (CS)
V. L. Mironov, Fundamentals of Scanning Probe Microscopy, NT-MDT 2004. (CS)

Zařazení předmětu ve studijních plánech

  • Program DPCP_CHM_4_N doktorský 1 ročník, zimní semestr, povinně volitelný
  • Program DKCP_CHM_4_N doktorský 1 ročník, zimní semestr, povinně volitelný