Detail předmětu

Microtechnologies

CEITEC VUT-DS107AAk. rok: 2023/2024

Doktorský kurz je zaměřen na oblast mikrotechnologií, mikroobrábění a mikrozařízení. Hlavním cílem je dát teoretické a experimentální základy v metodách a technikách mikrotechnologií dostupných v CEITEC. Kurz se také zaměřuje na mikroobrábění křemíku pro vytvoření mechanických systémůna čipu nazývaných MEMS. Nakonec bude prezentována MOS technologie k ukázání základních struktur jao transistor, kapacitor a diode. Kurz pomůže získat znalosti k tomu, jak CEITEC technologie využít k vytváření různých mikrozařízení.

Jazyk výuky

angličtina

Základní literatura

Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1,2, Edited by P. Rai-Choudhury. Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers, 1997
Marc J. Madou, Fundamentals of Microfabrication and Nanotechnology, Third Edition, Three-Volume Set. CRC Press, 2011
Tai-Ran Hsu, MEMS & Microsystems: Design, Manufacture, and Nanoscale Engineering. Wiley, 2008