čeština

Jsou požadovány znalosti na úrovni bakalářského studia. Práce v laboratoři je podmíněna platnou kvalifikací „osoby znalé pro samostatnou činnost“, kterou musí studenti získat před zahájením výuky. Informace k této kvalifikaci jsou uvedeny ve Směrnici děkana Seznámení studentů s bezpečnostními předpisy.

Laboratorní cvičení - 30 bodů; minimum 20 bodů.
Aktivní účast ve výuce - 10 bodů.
Závěrečná zkouška - 60 bodů; minimum 30 bodů.
Laboratorní cvičení. Numerická cvičení.

Získání znalostí potřebných pro porozumění moderním a perspektivním vakuovým výrobně technologickým procesům v elektronice, elektrotechnice, a ve strojírenství.
Na základě ověření znalosti studenta ve cvičeních odborného základu, v laboratorní výuce a při písemné zkoušce je student po absolvování předmětu schopen :

Interpretovat zákony ideálního plynu: Boyle Mariottův, Gay Lussacův a Daltonův.
Odvodit a interpretovat stavovou rovnici plynů.
Odvodit ze stavové rovnice plynů číselnou hodnotu univerzální plynové konstanty, Avogadrova čísla a Boltzmanovy konstanty.
Odvodit ze stavové rovnice plynů závislost tlaku na koncentraci plynu a teplotě.
Definovat podmínky pro modelování procesů v plynech pomocí kinetické teorie plynů.
Vypočítat počet částic dopadajících ve vakuu na jednotku plochy za jednotku času.
Vypočítat střední volnou dráhu částic v plynu a diskutovat její vliv na průběh vakuových procesů.
Definovat a vysvětlit Maxwel-Boltzmannovo rozložení rychlosti částic v plynu.
Vypočítat střední, efektivní (střední kvadratickou) a pravděpodobnou rychlost částic v plynu.
Popsat objemové a transportní jevy v plynu - difúzi částic, viskozitu plynu a tepelnou vodivost plynu.
Popsat a diskutovat povrchové procesy ve vakuu.
Definovat a vysvětlit základní adsorpční izotermy – Langmuirovu, Henryho a izotermu BET.
Definovat tlak nasycené páry a diskutovat mechanismy spojené s tlakem nasycených par.
Definovat odpor a vodivost vakuového potrubí.
Definovat mechanismy proudění plynu vakuovým potrubím.
Vypočítat a změřit vodivost vakuového potrubí pro jednotlivé druhy proudění.
Definovat jmenovitou a efektivní čerpací rychlost vývěvy.
Definovat rovnici kontinuity a interpretovat její význam při čerpání vakuových aparatur.
Popsat procesy a mechanismy, které se uplatňují při čerpání vakuových aparatur.
Popsat a diskutovat ovlivnění čerpacího procesu netěsnostmi a desorpcí.
Vypočítat mezní tlak vakuové aparatury.
Vypočítat potřebnou čerpací rychlost vývěvy s ohledem na uspořádání aparatury.
Vypočítat čas potřebný k vyčerpání na žádaný tlak.
Změřit čerpací rychlost vývěvy metodou konstantního tlaku a metodou konstantního objemu.
Popsat a vysvětlit činnost transportních vývěv.
Popsat a vysvětlit činnost sorpčních vývěv.
Definovat a vysvětlit metody měření vakua.
Popsat a vysvětlit princip tepelných vakuoměrů.
Popsat a vysvětlit princip ionizačních vakuoměrů.
Navrhnout a sestavit jednoduchou vakuovou aparaturu.
Popsat a diskutovat uspořádání vysokonapěťových zdrojů pro vakuovou techniku.
Popsat a diskutovat uspořádání vysokofrekvenční ch generatorů pro použití ve vakuové technice.
Popsat a vysvětlit metody měření velmi malých proudů pro elektrovakuová zařízení.
Popsat a vysvětlit metody oddělení potenciálu pro elektrovakuová zařízení.
Popsat a diskutovat příklady elektronických ochranných obvodů pro elektrovakuová zařízení .
Popsat a vysvětlit princip hmotnostních průtokoměrů.
Definovat a vysvětlit magnetické a elektrostatické vychylování.
Popsat a vysvětlit princip hmotnostních spektrometrů.
Popsat a vysvětlit princip elektronových mikroskopů.
Definovat supravodivost a vysvětlit využití supravodivosti .
Popsat a vysvětlit metody tepelné izolace.
Popsat a diskutovat funkci kryovývěv.
Definovat typy výbojů a uvést příklady jejich využití.
Definovat parametry plazmatu a vysvětlit jejich měření.
Popsat a diskutovat technologie katodového naprašování.
Popsat a diskutovat technologie plazmatické depozice z plynné faze.
Definovat technologie suchého leptání a uvést příklady jejich použití.

Boušek J., Kosina P.: Vakuová technika MVAF, FEKT VUT V BRNĚ, elektronické skriptum
Fikes L. :Fyzika nízkých tlaků ,SNTL, Praha 1991 (CS)
Grozskowski J. :Technika vysokého vakua ,SNTL, Praha 1981 (CS)
Pátý L. : Vakuová technika ,ČVUT, Praha 1990 (CS)