Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail předmětu
CEITEC VUT-DS107Ak. rok: 2024/2025
Doktorský kurz je zaměřen na oblast mikrotechnologií, mikroobrábění a mikrosystémů. Hlavním cílem je dát teoretické a experimentální základy v metodách a technikách mikrotechnologií dostupných nejen v CEITEC sdílených laboratořích. Kurz se detailně zaměřuje na depozice tenkých vrstev a mikroobrábění křemíku pro vytvoření elektro-mechanických systémů na čipu nazývaných MEMS. Nakonec bude prezentována MOS technologie k ukázání základních struktur jako transistor, kapacitor a dioda. Kurz pomůže získat znalosti k tomu, jak CEITEC technologického vybavení využít k vytváření různých mikrosenzorů/mikrosoučástek/mikrozařízení.
Jazyk výuky
Garant předmětu
Zajišťuje ústav
Vstupní znalosti
Základní znalosti fyzikální chemie a fyziky materiálů.
Pravidla hodnocení a ukončení předmětu
Na konci kurzu si student připraví 20-ti minutovou prezentaci o vybrané metodě/technice depozice v angličtině, která bude použita při zkoušce z předmětu. Hodnocení je založeno na připravených materiálech, pochopení tématu, prezentaci a použité literatuře.
Učební cíle
Student is going to familiarize with the elemental and advanced methods and techniques for the microstructures and semiconductor devices fabrication, with materials, rules for their creation and modern nanotechnologies in semiconductor industry.Preview of the mehods and techniques in thin-film and semicoductor technology, design skill of the microstructures and nanostructures using advanced techniques of fabrication.
Základní literatura