angličtina

Student získá teoretické i praktické znalosti z oblasti metod používaných pro stanovení vlastností a parametrů elektroizolačních a polovodičových materiálů a struktur. Získá hlubší znalosti diagnostických metod založených na využití elektronových svazků pro stanovení struktury a složení materiálových soustav.

Jsou požadovány znalosti na úrovni bakalářského studia.

Metody vyučování závisejí na způsobu výuky a jsou popsány článkem 7 Studijního a zkušebního řádu VUT.

Podmínky zápočtu:
Aktivní účast na cvičeních. Odevzdání semestrální práce. Zpracování a odevzdání protokolů z laboratorních cvičení.
Závěrečná zkouška.

Diagnostika a zkušebnictví. Organizace zkušebnictví a certifikace v ČR a v Evropské unii. Přehled diagnostických metod.
Diagnostické metody pro stanovení vlastností elektroizolačních materiálů a systémů ve stejnosměrném elektrickém poli.
Diagnostické metody pro stanovení vlastností elektroizolačních materiálů a systémů v elektrickém poli při 50 Hz a při vysokém napětí.
Diagnostické metody pro stanovení vlastností elektroizolačních materiálů a systémů v elektrickém poli při středních a vysokých kmitočtech.
Diagnostické metody spojené se stanovením vlivu provozních podmínek na vlastnosti materiálů.
Diagnostické metody pro stanovení elektrických vlastností polovodičových desek a struktur. Měření rezistivity, čtyřbodové metody, metoda odporu šíření, stanovení koncentračních profilů. Metody založené na vyhodnocení C-V charakteristik.
Diagnostické metody pro stanovení kontaminace a poruch v polovodičových materiálech. Mikroskopické techniky, metody AFM, AES, ESCA, SIMS.
Diagnostické metody založené na interakci elektronů s pevnou látkou. Elektronová optika, rozlišovací schopnost, hloubka ostrosti. Rozptyl, difúze elektronů.
Diagnostické metody založené na interakci elektronů s pevnou látkou. Emise elektronů a rentgenového záření. Zpětně odražené a sekundární elektrony.
Diagnostické metody založené na interakci elektronů s pevnou látkou. Detekce a zpracování signálů, zobrazení pomocí zpětně odražených a sekundárních elektronů.
Diagnostické metody založené na interakci elektronů s pevnou látkou. Difrakční metody pro analýzu krystalové struktury. Prvková analýza.
Statistická analýza jednorozměrných dat. Výběrové charakteristiky. Bodový a intervalový odhad parametrů normálního, exponenciálního a Weibullova rozdělení.
Testování statistických hypotéz. Testy na identifikaci hrubých chyb. Dixonův test, Grubsův test. Testy shody výběrových rozdělení. Chí-kvadrát test. Kolgomorův test.Testy shody nebo rozdílu dvou veličin.

Cílem předmětu je seznámit studenty s teorií diagnostických metod používaných pro stanovení vlastností a parametrů elektroizolačních a polovodičových materiálů a struktur,
s teoretickými základy metod vycházejících z využití elektronového svazku pro stanovení struktury a složení materiálových soustav jakož i se základy zpracování a vyhodnocení naměřených údajů.

Povinná účast ve výuce.

Reimer,L.:Scanning electron microscopy,Springer Verlag Berlin,1999 (EN)
Van Zant, P.: Microchip fabrication. Fourth edition. McGraw-Hill Publication. New York, 2000. (EN)

Eckertová,L., Frank,L.:Elektronová mikroskopie a difrakce,Academia Praha,1996 (CS)
Frank,L., Král,J.: Metody analýzy povrchů. Iontové, sondové a speciální metody. Academia, Praha,2002 (CS)