Projekt se zaměřuje na aplikovaný výzkum a experimenální vývoj v oblasti moderních MEMS snímačů pro inerciální navigaci s využitím pokročilých technologií v oblasti výroby vlastního snímacího elementu (MEMS), speciálního elektronického obvodu pro zpracování elektrických signálů (ASIC), tak i systému vyčítání (měření polohy) s využitím optických vláken. V rámci projektu budou dále vyvinuty technologie pro rychlé a precizní laserové obrábění definovaných soustav cylindrických otvorů mikrometrových rozměrů v opticky transparentních materiálech a vývoj interferometrické metody pro měření pohybu MEMS struktur v řádek jednotek nanometrů. Součástí projektu bude i výzkum metod pro podrobnou charakterizaci vlastností navržené MEMS struktury s ohledem na techniku optického vyčítání, realizovaných vláknových vláknových struktur pro optické interferometrické měření polohy a metodika pro měření parametrů kompletního MEMS snímače úhlového zrychlení s optickým vyčítáním. Pro úspěšné dosažení cílů bylo zformováno konsorcium předních českých pracovišť zahrnujicích průmyslové podniky a univerzity. Téma projektu odpovídá jak na potřeby současné dopravy (potřeba přesných, levných a robustních senzorů pro autonomní vozidla), tak i na potřeby průmyslu (potřeba přesného uchycení optických vláken v senzorickém a telekomunikačním průmyslu). Dále je pak adresována i problematika přesného měření malých výchylek.

Popis anglicky
The main objective of the project is research and development of functional sample of MEMS inertial sensor with optical sensing. The parameters of the gyroscope will be validate by measurement. This objective comprise research and development of front-end integrated circuit with innovative architecture, development and validation of precise laser micromachining technology for optical materials as well as development of interferometric measurement set-up for nano-scale movement measurement. Major Project deliverables: Functional sample of the MEMS inertial sensor with optical read-out (12/2021) Validated technology for precise micromachining of optical materials Details are provided in the proposal appendix - chapter 1 Hlavni příloha.

Klíčová slova
Inerciální senzory, MEMS, integrované obvody, interferometrické metody měření, přesné obrábění optických materiálů

Klíčová slova anglicky
Inertial sensors, MEMS, integrated citcuit, interferometric measurement methods, optical material micromachining