Předmětem díla je návrh a zhodnocení algoritmu pro přesnou a spolehlivou detekci referenční značky v obraze z mikroskopů SEM a FIB. Značka je tvořená prostým křížkem, vzor připraví TESCAN Brno, s.r.o. (dále TESCAN) v rámci první etapy. Značka může mít různou kvalitu a rozličná poškození. Fakulta informačních technologií (dále FIT) sestaví algoritmy a ověřovací software pro detekci této značky v obraze z mikroskopu SEM a FIB. Prvním krokem algoritmu je detekce značky v obraze, druhým krokem přesná lokalizace. První krok bude řešen pomocí jednoduchého detektoru, např. Boosted Soft Cascade, druhý krok vhodným algoritmem, např. pomocí konvoluční neuronové sítě. Pro srovnání bude použita i obvyklá technika detekce pomocí fázové korelace.

Popis anglicky
1606/5000 The subject of the work is the design and evaluation of the algorithm for accurate and reliable detection of the reference mark in the image of SEM and FIB microscopes. The mark consists of a simple cross, the model is prepared by TESCAN Brno, s.r.o. (hereinafter TESCAN) as part of the first stage. The brand may have different quality and different damage. The Faculty of Information Technology (FIT) compiles algorithms and authentication software for detecting this mark in a SEM and FIB microscope image. The first step of the algorithm is the detection of the mark in the image, the second step is the exact localization. The first step will be solved using a simple detector, such as Boosted Soft Cascade, the second step with a suitable algorithm, eg using a  convolutional neural network. For comparison, the usual technique of phase correlation detection will also be used.

Klíčová slova
Detekce referenčních značek v obraze FIB/SEM

Klíčová slova anglicky
Detection of reference marks in the FIB / SEM image