Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail projektu
Období řešení: 01.03.2023 — 28.02.2024
Zdroje financování
Vysoké učení technické v Brně - Vnitřní projekty VUT
- plně financující (2023-01-01 - 2024-12-31)
O projektu
Diagnostikou vysokofrekvenčního zdroje plazmatu pomocí základních elektrotechnických metod bude určeno několik významných kombinací vstupních parametrů (mezi které patří například tlak pracovního plynu nebo dodávaný výkon), pro které bude měření doplněno optickou emisní spektrometrií. Získané výsledky budou vzájemně kombinovány a vyhodnoceny s cílem dosáhnout vyšší úrovně porozumění procesům ve vysokofrekvenčně excitovaném plazmatu.
Označení
FCH/FEKT-J-23-8282
Originální jazyk
čeština
Řešitelé
Juřík Karel, Ing. - hlavní řešitelDrexler Petr, doc. Ing., Ph.D. - spoluřešitelKrčma František, prof. RNDr., Ph.D. - spoluřešitelMěšťánková Zuzana, Ing. - spoluřešitel
Útvary
Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií- příjemce (01.01.2023 - 31.12.2023)Ústav teoretické a experimentální elektrotechniky- interní (01.01.2023 - 31.12.2023)Fakulta chemická- interní (01.01.2023 - 31.12.2023)Ústav fyzikální a spotřební chemie- interní (01.01.2023 - 31.12.2023)