Popis technologie

Mechanické uchycení měřící hlavy pro mikroskopii rastrující sondou je příslušenstvím k rastrovacím mikroskopům, zejména u mikroskopů atomárních sil. Tyto mikroskopy slouží k trojrozměrnému zobrazování povrchu a výsledný obraz se skládá bod po bodu pomocí sondy s hrotem, která skenuje povrch vzorku. Pro skenování povrchu je tedy třeba, aby se vzorek pohyboval pod hrotem – to je provedeno pomocí tzv. skeneru (piezo-element). Pro nastavení hrotu ke vzorku se používá další posuv (tzv. makroposuv). Oba posuvy mají každý svůj motor. Tyto motory však způsobují nežádoucí vibrace, které zmenšují přesnost mikroskopu.

V navrhovaném řešení byly vibrace sníženy pomocí odstranění částečného vlivu jednoho z motorů jeho vhodnějším uložením. Navíc bylo použito takové přichycení měřící hlavy, které umožňuje skenovat povrch i při naklonění měřící hlavy se vzorkem, a to až o 90°. Tohoto je možné s výhodou využít, jestliže je vzorek třeba nějak upravovat před samotným měřením, např. výrobek chladit. Výsledkem jsou přesnější data při konstantní teplotě během celého měření.

Hlavní výhody

• Nižší vibrace
• Větší přesnost měření
• Možnost měření v nakloněné poloze

Ochrana duševního vlastnictví

• Ochrana obchodního tajemství
• Plánované podání přihlášky užitného vzoru

Nabídka spolupráce

Nabízíme výhradní či nevýhradní licenci a možnost výzkumné spolupráce.

Kontakt

Ing.

JanNedvěd

Manažer transferu znalostí

+420 605 232 043
jan.nedved@ceitec.vutbr.cz