Detail produktu

Inovace temperování pláště komory napařovačky Balzers

SEDLÁČEK, J. SVATOŠ, V. HUBÁLEK, J.

Typ produktu

funkční vzorek

Abstrakt

Termální napařovačka Balzers byla doplněna o teplotní vyhřívání pláště komory pro dosažení vyšší hodnoty vakua. Ohřev nosného média byl zabezpečen průtokovým ohřívačem a bylo doplněno přepínání na chlazení komory. Je možné pracovat s ohřevem nebo bez ohřevu pláště komory.

Klíčová slova

napařovačka, ohřev, plášť

Datum vzniku

13. 11. 2013

Umístění

T10 N0.67

Možnosti využití

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

www

http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=77