Detail produktu
Inovace temperování pláště komory napařovačky Balzers
SEDLÁČEK, J. SVATOŠ, V. HUBÁLEK, J.
Typ produktu
funkční vzorek
Abstrakt
Termální napařovačka Balzers byla doplněna o teplotní vyhřívání pláště komory pro dosažení vyšší hodnoty vakua. Ohřev nosného média byl zabezpečen průtokovým ohřívačem a bylo doplněno přepínání na chlazení komory. Je možné pracovat s ohřevem nebo bez ohřevu pláště komory.
Klíčová slova
napařovačka, ohřev, plášť
Datum vzniku
13. 11. 2013
Umístění
T10 N0.67
Možnosti využití
K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licenční poplatek
Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
www