Detail produktu
Nástroj pro leptání zadních stran Si desek
PEKÁREK, J. SVATOŠ, V. NEUŽIL, P. HUBÁLEK, J.
Typ produktu
funkční vzorek
Abstrakt
Nástroj pro leptání zadních stran Si desek, tzv. „back-side etch“, je vyroben z vysoce odolného materiálu Ketron PEEK. Materiál odolává většině leptadel na bázi kyselin (fluorovodíková, chlorovodíková, dusičná, sírová a další) a také leptadlům na bázi hydroxidů (draselný, sodný, TMAH a další). Do nástroje se vloží 4“ Si deska popř. dvě desky. Po té se připojí vzduch a diferenční senzor tlaku, který detekuje případné podtečení. Celý přípravek je možné vložit do leptací vany a leptat tak pouze zadní část desky. Vyrobený nástroj je možné používat pro leptání membránek na zadních stranách Si desek, přičemž přední strana je chráněna proti leptadlu. Tohoto se využívá především v senzorických systémech v MEMS technologiích.
Klíčová slova
leptání, ochrana, detekce podtečení
Datum vzniku
13. 8. 2013
Umístění
T10-0.65
Možnosti využití
K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licenční poplatek
Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
www