Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail publikace
WANDROL, P.
Originální název
Detekce zpětně odražených elektronů v nízkoenergiové oblasti spektra elektronového svazku v SEM.
Anglický název
Detection of backscattered electrons in low energy part of the electron beam spectrum in SEM.
Typ
článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus
Jazyk
čeština
Originální abstrakt
Práce je zaměřena především na výzkum detektoru pro společnou i oddělenou detekci zpětně odražených elektronů (BSE) a sekundární elektronů (SE) v rastrovacím elektronovém mikroskopu za podmínek, kdy energie primárního svazku dopadajícího na vzorek činí 1 keV a méně.
Anglický abstrakt
This paper deals with the development of the detector for low energy backscattered electrons detection in low voltage scanning electron microscope.
Klíčová slova
zpětně odražené elektrony, nízkonapěťová SEM
Klíčová slova v angličtině
backscattered electrons, low voltage SEM
Autoři
Rok RIV
2004
Vydáno
1. 1. 2004
Místo
Brno
ISBN
80-239-2268-8
Kniha
PDS 2003 Sborník prací doktorandů prezentovaných na Semináři oddělení elektronové optiky
Číslo edice
1
Strany od
61
Strany do
64
Strany počet
4
BibTex
@inproceedings{BUT11029, author="Petr {Wandrol}", title="Detekce zpětně odražených elektronů v nízkoenergiové oblasti spektra elektronového svazku v SEM.", booktitle="PDS 2003 Sborník prací doktorandů prezentovaných na Semináři oddělení elektronové optiky", year="2004", number="1", pages="4", address="Brno", isbn="80-239-2268-8" }