Detail publikace

Kalibrace vychylovacího pole litografu řady BS600 využitím režimu REM

DANĚK, L.

Originální název

Kalibrace vychylovacího pole litografu řady BS600 využitím režimu REM

Anglický název

Calibration of the deflection field of the E-beam lithograph BS600 series using SEM mode

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

Text se zabývá kalibrací vychylovacího pole litografu BS600 a BS601 upraveného v rámci projektu Elito s využitím režimu rastrovacího elektronového mikroskopu.

Anglický abstrakt

Text describes a new method for the calibration of geometric distortion of deflection field. This method uses a regime of scanning electron microscope (SEM), which was added to electron beam lithographs BS600 and BS601 in project ELITO. The main advantage of this method was the reduction of the time required to calibrate the lithograph.

Klíčová slova v angličtině

E-beam Lithography

Autoři

DANĚK, L.

Rok RIV

2004

Vydáno

30. 1. 2004

Nakladatel

Ústav přístrojové techniky AV ČR, Brno

Místo

Brno

ISBN

80-239-2268-8

Kniha

Sborník prací doktorandů prezentovaných na Semináři oddělení Elektronové optiky na počátku roku 2004

Strany od

15

Strany do

18

Strany počet

4

BibTex

@inproceedings{BUT11253,
  author="Lukáš {Daněk}",
  title="Kalibrace vychylovacího pole litografu řady BS600 využitím režimu REM",
  booktitle="Sborník prací doktorandů prezentovaných na Semináři oddělení Elektronové optiky na počátku roku 2004",
  year="2004",
  pages="4",
  publisher="Ústav přístrojové techniky AV ČR, Brno",
  address="Brno",
  isbn="80-239-2268-8"
}