Detail publikace

Comparison of Dry and Wet Oxidation Process during Low Pressure Boron Diffusion with BBr3 in Solar Cell Production

MOJROVÁ, B. MIHAILETCHI, V.

Originální název

Comparison of Dry and Wet Oxidation Process during Low Pressure Boron Diffusion with BBr3 in Solar Cell Production

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

angličtina

Originální abstrakt

Replacing a dry oxidation with a wet oxidation process during low pressure diffusion using boron tribromide (BBr3) in solar cell production

Klíčová slova

Boron diffusion, Solar Cell

Autoři

MOJROVÁ, B.; MIHAILETCHI, V.

Rok RIV

2015

Vydáno

23. 4. 2015

Nakladatel

Vysoké učení technické v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií

Místo

Brno

ISBN

978-80-214-5148-3

Kniha

Proceedings of the 21st Conference STUDENT EEICT 2015

Strany od

376

Strany do

380

Strany počet

5

BibTex

@inproceedings{BUT114194,
  author="Barbora {Mojrová} and Valentin {Mihailetchi}",
  title="Comparison of Dry and Wet Oxidation Process during Low Pressure Boron Diffusion with BBr3 in Solar Cell Production",
  booktitle="Proceedings of the 21st Conference STUDENT EEICT 2015",
  year="2015",
  pages="376--380",
  publisher="Vysoké učení technické v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií",
  address="Brno",
  isbn="978-80-214-5148-3"
}