Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail publikace
WANDROL, P., AUTRATA, R.
Originální název
Trajectories of Signal Electrons in Low-Voltage BSE Detector
Typ
článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus
Jazyk
angličtina
Originální abstrakt
Nowadays the development of the image formation in SEM is oriented to the use of scanning electron microscopes with low accelerating voltage of the primary beam (LV SEM). Secondary electrons and backscattered electrons (BSE) are the main components of detected signal in LV SEM. While secondary electrons can be detected either by ET or "in lens" detector, the detection of BSE in LV SEM is an unsolved problem yet.
Klíčová slova v angličtině
low-voltage scanning electron microscopy, signal electrons trajectories, low-voltage BSE detector
Autoři
Rok RIV
2004
Vydáno
12. 7. 2004
Nakladatel
Ústav přístrojové techniky AC ČR
Místo
Brno
ISBN
80-239-3246-2
Kniha
Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation
Číslo edice
9.
Strany od
77
Strany do
78
Strany počet
2
BibTex
@inproceedings{BUT11801, author="Petr {Wandrol} and Rudolf {Autrata}", title="Trajectories of Signal Electrons in Low-Voltage BSE Detector", booktitle="Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation", year="2004", number="9.", pages="2", publisher="Ústav přístrojové techniky AC ČR", address="Brno", isbn="80-239-3246-2" }