Detail publikace

Vakuová technika

Boušek J., Kosina P.

Originální název

Vakuová technika

Anglický název

Vacuum technology

Typ

skriptum

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

Skriptum pro magisterské studium oboru mikroelektronika. Vakuové processy jsou vysvětleny na základě studia příslušných fyzikálních mechanismů.

Anglický abstrakt

Textbook for Master's degree in microelectronics. Vacuum process are explained by studying the relevant physical mechanisms.

Klíčová slova

Plyn, tlak, střední volná dráha, vývěva, vakuoměr

Klíčová slova v angličtině

Gas, pressure, mean free path, vacuum pump, vacuum gauge

Autoři

Boušek J., Kosina P.

Vydáno

4. 3. 2015

Nakladatel

VUT v Brně

Místo

BRNO

Strany počet

82

BibTex

@misc{BUT120704,
  author="Jaroslav {Boušek} and Petr {Kosina}",
  title="Vakuová technika",
  year="2015",
  pages="82",
  publisher="VUT v Brně",
  address="BRNO",
  note="course reader"
}