Detail publikace

Reaktivní magnetronové naprašování vrstev oxidu hlinitého

DUŠEK, J.

Originální název

Reaktivní magnetronové naprašování vrstev oxidu hlinitého

Anglický název

Reactive Magnetron Sputtering of the Aluminium Oxide Coating

Typ

článek ve sborníku mimo WoS a Scopus

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

Článek pojednává o návrhu a experimentálnímu ověření a testování depozičních parametů pro nově instalovaný hliníkový terč. Na základě získaných údajů depozičního procesu a hystereze naprašování bylo ověřeno vytváření vrstev Al2O3. Tento postup umožnil rozpoznání hranic mezi reaktivním a metalickým módem. Navržené hranice vytvořily technologické okno pro naprašování vrstev Al2O3.Vytvořené vrstvy byly testované na mechanické a optické vlastnosti a adhezi.

Anglický abstrakt

This contribution deals with design, check and test of deposition parameters for new installed aluminium target. In addition of individual parts of deposition process and hysteresis of sputtering thin films of Al2O3 was verified. This made it possible to determine borders of reactive and metallic mode. The designed borders were created technological window for sputtering Al2O3 films. The sputtered thin films are tested on mechanical, optical properties and adhesion.

Klíčová slova

reaktivní magnetronové naprašování, pulzní naprašování, vrstvy oxidu hliníku

Klíčová slova v angličtině

Reactive magnetron sputtering, pulse sputtering, aluminium oxide coating

Autoři

DUŠEK, J.

Vydáno

28. 4. 2016

Nakladatel

Vysoké učení technické v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií

Místo

Brno

ISBN

978-80-214-5350-0

Kniha

Proceedings of the 22nd Conference STUDENT EEICT 2016

Strany od

231

Strany do

233

Strany počet

3

BibTex

@inproceedings{BUT128793,
  author="Jan {Dušek}",
  title="Reaktivní magnetronové naprašování vrstev oxidu hlinitého",
  booktitle="Proceedings of the 22nd Conference STUDENT EEICT 2016",
  year="2016",
  pages="231--233",
  publisher="Vysoké učení technické v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií",
  address="Brno",
  isbn="978-80-214-5350-0"
}