Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail publikace
KRČMA, F.
Originální název
Fyzika a chemie plazmatu za sníženého tlaku: Vlastnosti a aplikace
Anglický název
Physics and chemistry of low pressure plasma: properties and applications
Typ
článek v časopise - ostatní, Jost
Jazyk
čeština
Originální abstrakt
Úvodní přednáška začne stručným přehledem plazmatu jako čtvrtého skupenství hmoty, elementárních procesů v plazmatu jako je účinný průřez, distribuční funkce energie elektronů, Debyeova difúzní délka, teploty různých částic (především v nerovnovážných případech), atd. Produkce různých reaktivních částic jako jsou ionty, radikály a excitované částice bude prezentována s ohledem na využití v nerovnovážné objemové i povrchové chemii. Bude uveden přehled nízkotlakých plazmových systémů a elektrodových konfigurací využitelných v laboratorních procesech a technologiích. Na závěr budou prezentovány vybrané průmyslové aplikace jako depozice tenkých a tvrdých vrstev, povrchové úpravy, produkce nanočástic a nanostruktur, plazmová TV, apod.
Anglický abstrakt
The introduction lecture will start by a brief review of plasma as the fourth state of matter, plasma elementary processes like effective cross sections, electron energy distribution function, Debye diffusion length, temperatures of various species (especially in non-equilibrium cases), etc. The stress on various reactive species generation like ions and radicals and excited species will be presented with link to the non-equilibrium bulk and surface chemistry. The possible low pressure plasma discharge systems and electrode configurations applicable for laboratory processes and technologies will be reviewed. Finally, the selected industrial applications like thin films and hard coatings deposition, surface treatment, nanoparticles and nanostructures synthesis, plasma TV, etc. will be presented.
Klíčová slova
Nízkotlaké plazma, elementární procesy v plazmatu, plazmové technologie
Klíčová slova v angličtině
Low pressure plasma, plasma elementary processes, plasma technologies
Autoři
Vydáno
30. 5. 2016
Nakladatel
Česká vakuová Společnost
Místo
Praha
ISSN
1213-2705
Periodikum
Zpravodaj České Vakuové Společnosti
Ročník
24
Číslo
1
Stát
Česká republika
Strany od
5
Strany do
10
Strany počet
6
BibTex
@article{BUT129152, author="František {Krčma}", title="Fyzika a chemie plazmatu za sníženého tlaku: Vlastnosti a aplikace", journal="Zpravodaj České Vakuové Společnosti", year="2016", volume="24", number="1", pages="5--10", issn="1213-2705" }