Detail publikace

Fyzika a chemie plazmatu za sníženého tlaku: Vlastnosti a aplikace

KRČMA, F.

Originální název

Fyzika a chemie plazmatu za sníženého tlaku: Vlastnosti a aplikace

Anglický název

Physics and chemistry of low pressure plasma: properties and applications

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

Úvodní přednáška začne stručným přehledem plazmatu jako čtvrtého skupenství hmoty, elementárních procesů v plazmatu jako je účinný průřez, distribuční funkce energie elektronů, Debyeova difúzní délka, teploty různých částic (především v nerovnovážných případech), atd. Produkce různých reaktivních částic jako jsou ionty, radikály a excitované částice bude prezentována s ohledem na využití v nerovnovážné objemové i povrchové chemii. Bude uveden přehled nízkotlakých plazmových systémů a elektrodových konfigurací využitelných v laboratorních procesech a technologiích. Na závěr budou prezentovány vybrané průmyslové aplikace jako depozice tenkých a tvrdých vrstev, povrchové úpravy, produkce nanočástic a nanostruktur, plazmová TV, apod.

Anglický abstrakt

The introduction lecture will start by a brief review of plasma as the fourth state of matter, plasma elementary processes like effective cross sections, electron energy distribution function, Debye diffusion length, temperatures of various species (especially in non-equilibrium cases), etc. The stress on various reactive species generation like ions and radicals and excited species will be presented with link to the non-equilibrium bulk and surface chemistry. The possible low pressure plasma discharge systems and electrode configurations applicable for laboratory processes and technologies will be reviewed. Finally, the selected industrial applications like thin films and hard coatings deposition, surface treatment, nanoparticles and nanostructures synthesis, plasma TV, etc. will be presented.

Klíčová slova

Nízkotlaké plazma, elementární procesy v plazmatu, plazmové technologie

Klíčová slova v angličtině

Low pressure plasma, plasma elementary processes, plasma technologies

Autoři

KRČMA, F.

Vydáno

30. 5. 2016

Nakladatel

Česká vakuová Společnost

Místo

Praha

ISSN

1213-2705

Periodikum

Zpravodaj České Vakuové Společnosti

Ročník

24

Číslo

1

Stát

Česká republika

Strany od

5

Strany do

10

Strany počet

6

BibTex

@article{BUT129152,
  author="František {Krčma}",
  title="Fyzika a chemie plazmatu za sníženého tlaku: Vlastnosti a aplikace",
  journal="Zpravodaj České Vakuové Společnosti",
  year="2016",
  volume="24",
  number="1",
  pages="5--10",
  issn="1213-2705"
}