Detail produktu

Vícecestný kapalinový ventil

HRDÝ, R. ŽÁK, J. HUBÁLEK, J.

Typ produktu

funkční vzorek

Abstrakt

Vícecestný kapalinový ventil určen pro výrobní postupy vyžadující časté střídání procesních kapalin například v mikroelektronice a elektrochemi a MEMS technologiích. Je konstruován se zvýšenou chemickou odolností na bázi teflonových a silikových prvků s kapaciou až 22 vstupních portů. Ventil pracuje na principu karuselového selektroru se servomotorem řízeným pomocí elektromagneického čidla s přesnotí 10um.

Klíčová slova

ventil, elektrochemie, nanostruktury, depozice, chemická odolnost

Datum vzniku

1. 12. 2016

Umístění

Laboratoře LabSenNano. N0.66, Technická 10, Brno

Možnosti využití

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

www